Zirkonium-Rotationssputtertargets
Beschreibung der Zirkonium-Rotationssputtertargets
Zirkonium-Rotationssputtertargets werden nach einer Reihe von Verarbeitungsprozessen aus hochreinem Zirkoniummaterial mit einer bestimmten Größe und Form des hochreinen Zirkoniummaterials hergestellt. Der Verwendungsprozess ist: Das Targetmaterial wird zuerst in eine Vakuumkammer gegeben und dann mit hochreinem Zirkoniummaterial bombardiert. Energieionen oder Elektronen, so dass Atome oder Moleküle aus der Zieloberfläche herausgeschleudert und auf der Substratoberfläche abgelagert werden. Zirkonium-Rotationssputtertargets zeichnen sich durch hohe Reinheit, gute Verarbeitungsleistung, schnelle Beschichtungsgeschwindigkeit und hohe Qualität, Korrosionsbeständigkeit, hohe Temperaturbeständigkeit, Verschleißfestigkeit, lange Lebensdauer usw. aus. Sie können eine sehr gute Korrosionsbeständigkeit sowie hohe und niedrige Temperaturen bieten Temperaturbeschichtungsschutz für wichtige Teile in der chemischen Industrie oder Luft- und Raumfahrtindustrie. Es kann auch in der großflächigen Glasbeschichtungsindustrie und der Elektronikindustrie eingesetzt werden.
Um die Lebensdauer von Zirkonium-Targets zu verlängern, kommt es darauf an, die richtigen Bedingungen bei der Lagerung und Verwendung sicherzustellen. Während der Lagerung sollte das Target in einer trockenen, temperaturstabilen Umgebung aufbewahrt werden, um Oxidation oder strukturelle Schäden durch Feuchtigkeit und Temperaturschwankungen zu vermeiden. Bei der Anwendung ist darauf zu achten, dass die Zielscheibe gleichmäßig abgenutzt wird, um einen lokalen übermäßigen Verbrauch zu vermeiden. Dazu gehört die regelmäßige Überprüfung des Targets auf Verschleiß und strukturelle Unversehrtheit sowie entsprechende Anpassungsmaßnahmen.
Technische Daten der Zirkonium-Rotationssputtertargets:
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Material |
ZR702-KARTON |
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Reinheit |
99.6% |
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Dichte |
6,52 g/cm3 |
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Prozesse |
Heißisostatisches Pressen, Sintern, Vakuumschmelzen, Schmieden, maschinelle Bearbeitung |
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OD |
20 mm-160mm |
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Dicke |
2-20m |
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Oberfläche |
Poliert, glänzend, chemische Reinigung, schwarzes Oxid usw. |
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Norm |
ASTM B550, ASTM B551, GB |
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Lieferzeit |
Ungefähr 25 Tage |
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Zertifizierung |
ISO9001 |
Zirkonium-Rotationssputtertargets Bild:


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