Rundes Titan-Silizium-Sputter-Target
Eigenschaften und Anwendung von runden Titan-Silizium-Sputter-Targets
Als wesentliches Material für den Sputterprozess (Beschichtungsprozess) werden metallische Sputtertargets im Allgemeinen aus Materialien mit hohen mechanischen Eigenschaften und hoher Haltbarkeit hergestellt. Titanium Silicon Sputter Round Targets enthalten alle hervorragenden Eigenschaften von Silizium und Titan, wie hohe Härte und Festigkeit, stabile chemische Eigenschaften, starke Hochtemperaturbeständigkeit, gute Ablationsbeständigkeit, starke Temperaturwechselbeständigkeit, gute Verschleißfestigkeit, lange Lebensdauer, hohe Humanität Affinität, gute Oberflächengüte und feine und stabile Kornstruktur. Beschichtungen, die durch runde Titan-Silizium-Sputter-Targets gesputtert werden, können Werkzeuge und Komponenten schützen, die in Umgebungen mit hoher Korrosion, hohem Schnitt und extrem hohen Temperaturen verwendet werden, und eignen sich sehr gut für Anwendungen in der Metallschmelze, im Brandschutz, in der Hochtemperaturindustrie, in der Luft- und Raumfahrt und im Bauwesen , Elektrotechnik, Magnetron-Sputterprozess und Glasbeschichtungsindustrie und andere Bereiche.
Spezifikationen für runde Titan-Silizium-Sputter-Targets:
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Chemische Komponenten (in Prozent) |
Ti85Si15 |
Ti80Si20 |
Ti75Si25 |
Ti70Si30 |
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Reinheit (Prozent) |
99.8 |
99.8 |
99.8 |
99.8 |
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Dichte (g/cm3) |
4.4 |
4.35 |
4.3 |
4.17 |
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Körnung (μm) |
Kleiner oder gleich 100 |
Kleiner oder gleich 100 |
Kleiner oder gleich 100 |
Kleiner oder gleich 100 |
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Wärmeleitfähigkeit (W/m.K) |
18.5 |
20 |
22 |
23 |
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Spezifikationsabmessungen (mm) |
Ebene Ziele:
Kleiner oder gleich 1500*500 |
Ebene Ziele:
Kleiner oder gleich 1500*500 |
Ebene Ziele:
Kleiner oder gleich 1500*500 |
Ebene Ziele:
Kleiner oder gleich 1500*500 |
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Grad |
Ti85Si15, Ti80Si20, Ti70Si30 usw. |
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Technik |
Heißisostatisches Pressen, Schweißen, Sintern, Schmieden, Glühen |
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Dicke |
3mm-30mm |
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Länge |
10 mm -2000 mm |
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Kreisdurchmesser |
50-100mm |
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Typ |
Planar, Rohr, Scheibe, zylindrisch |
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Oberfläche |
Poliert, alkalische Reinigung, Schleifen, Schwarzoxid usw. |
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Zertifizierung |
ISO9001 |
Titan-Silizium-Sputter-runde Zielbilder:


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