Sputtertarget aus Titan-Zirkonium-Legierung
Beschreibung des Sputtertargets aus Titan-Zirkonium-Legierung
Das Sputtering-Target-Verfahren garantiert eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit auch unter sehr rauen Umgebungsbedingungen wie korrosiven Dämpfen und Feuchtigkeit und erzeugt dünne Schichten, die präzise und anspruchsvolle Anwendungsanforderungen erfüllen und zudem eine starke Haftung und eine hohe Lichtdurchlässigkeit aufweisen. Titan hat ein sehr hohes Verhältnis von Festigkeit zu Gewicht und Zirkonium hat eine ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit. Das Sputtertarget aus Titan-Zirkonium-Legierung umfasst daher seine hervorragenden Eigenschaften, die die Vorteile einer gleichmäßigen Struktur, einer guten Oberflächenqualität, einer präzisen Größe, einer besseren Filmbildungsleistung, einer langen Lebensdauer und geringen Wartungskosten aufweisen. Titan-Zirkonium-Legierungs-Sputtering-Targets werden in der Industrie häufig in der Multi-Arc-Ionen-Vakuumbeschichtung oder Magnetron-Sputtering-PVD eingesetzt und können je nach Anforderung als verschleißfeste Materialien, dekorative Beschichtungen oder funktionelle Beschichtungen verwendet werden.
Spezifikationen des Titan-Zirkonium-Legierungs-Sputtertargets:
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Material |
Ti10Zr90, Ti15Zr85, Ti30Zr70 usw. |
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Technik |
Sintern, Schmieden, Glühen, Walzen, Vakuumschmelzen, maschinelle Bearbeitung |
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Durchmesser |
<400mm |
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Dicke |
1-100mm |
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Größe |
Rectangle (Length 1800mm, Width 400mm Thickness>1mm) Rohr (rotorisches Target, Außendurchmesser: 20 mm -160 mm, Dicke: 2-20 mm) |
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Dichte |
4,7 g/cm3 |
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Oberfläche |
Poliert, hell, chemische Reinigung, Schwarzoxid usw. |
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Form |
Platte, Wafer, Rechteckig, Quadratisch, Kreis, Rohr, Stufenwafer und kundenspezifisch |
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Standard |
ASTM B385, GB |
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Zertifizierung |
ISO9001 |
Titan-Zirkonium-Legierungs-Sputtering-Target-Bilder:
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