Ionenimplantationsteile aus Molybdän und Wolfram für Halbleiter

DasIonenimplantationsteile aus Molybdän und Wolframist ein Schlüsselgerät bei der Herstellung integrierter Schaltkreise. Wenn der Ionenstrahl in die Halbleiteroberfläche injiziert und abgeschieden wird, ändern sich Ladungsträgerkonzentration und Leitfähigkeitstyp.

Die Ionenimplantation wird aufgrund ihrer hervorragenden Oberflächenmodifikation in Halbleitermaterialien, Metallen, Keramiken, Polymeren und anderen Bereichen weit verbreitet verwendet. Die Ionenimplantation ist der Schlüssel zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen (ICs). Molybdänvorrichtungen sind die Schlüsselvorrichtungen zum Unterdrücken und Abschirmen ionisierender Strahlen im Ionenquellensystem von Halbleiter-Ionenimplantationsanlagen.

Da die Umwandlung der Ionenquelle in Plasmaionen während der Ionenimplantation eine Arbeitstemperatur von über 2000 Grad erzeugt und der Ionenstrahlausstoß auch eine große Menge an kinetischer Ionenenergie erzeugt, werden typische Metalle schnell verbrannt und geschmolzen.

Anwendung: Teile des Molybdänionenimplantierers für Halbleiter

1. Die meisten der für die Ionenimplantation verwendeten Molybdänteile werden in der Halbleiterindustrie verwendet;

2. Produzieren Sie Molybdänionen-Implantationsgeräte mit hoher Dichte, hoher Reinheit, hoher Präzision und gleichmäßiger interner Struktur;

3. Unsere Molybdän-Ionen-Implantationsteile sind für Mittelstrahlinjektoren und Starkstrahlinjektoren geeignet;

4. Molybdänteile für die Ionenimplantation werden nach Kundenzeichnung gefertigt.

5. Geeignet für Metallurgie, Seltene Erden, Maschinen und andere Industrien

Ionenimplantationsteile in Molybdän und Wolfram Bild:

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